∙가천대학교(총장 이길여) 바이오나노융합소재 연구센터 (센터장 한상윤)은 교육부 ‘인프라 고도화 지원과제’에 선정되어 5년간 (2025-2030) 83억원의 지원을 받아 글로벌캠퍼스내에 최첨단 ⌈원자단위 소자 특성 매핑 특화 수차보정 투과전자현미경 (Cs-corrected TEM)⌋ 인프라 구축을 수행한다.

∙구축 예정인 연구 인프라는, 원자수준의 구조 분석이 가능한 수차보정 투과전자현미경 (Cs-corrected TEM))을 기반으로, 에너지 분산 분광기 (EDS), 전자 에너지 손실 분광기 (EELS), 고속 전자빔 측정기 (4D-STEM), 전자빔 유도 전류 측정 시스템 (EBIC), 로렌츠 렌즈, 실시간 전압 인가 홀더, 실시간 자기장 인가 홀더, 진공 이송 냉각 홀더 등 다양한 첨단 요소 하드웨어를 결합하고 있으며, 이를 통해 기존의 원자수준 투과전자현미경 분석 이외에, 국내 최초로 서브나노미터 반도체 특성 매핑 및 오퍼란도 연구 등의 새로운 고도화된 연구 기회를 제공할 계획이다.

∙본 과제에는, 윤상문 교수 (반도체물리학과), 최두호 교수 (반도체공학과), 이수길 교수 (반도체공학과), 엄기태 교수 (반도체공학과), 진강태 교수 (반도체공학과), 조의식 교수 (전자공학과)가 참여하여, 인프라 구축 및 이를 활용, 신개념을 적용하여 차세대 반도체 소자의 한계를 돌파하기 위한 연구를 수행할 계획이다.